초소형 프로젝터用 미러 소자 개발

▒ 배경

     - 일반적으로 1칩에 의한 2축 주사(走査)에서는, 수평 방향의 구동 주파수가 수직 방향에 비해 높으므로,

       2축을 공진 주파수로 구동시키는 것이 어려웠음

 

▒ 日 스탠리 전기는 혁신적인 구조의 엑츄에이터(actuator)를 가진 초소형 프로젝터에 사용할 수 있는

    미러 소자를 개발

     - 수직 방향과 수평 방향을 2축으로 레이저 광(光)을 주사(走査)하는 마이크로 미러 액츄에이터를

       압전 소자로 개발

     - 2축 공진 주파수의 구동을 위해 비공진 주파수로 실시
       ㆍ비공진 구동 時 큰 구동력을 위해 PZT에 의한 압전(piezoelectric) 구동을 채용
       ㆍ압전 구동의 결점인 변위를 크게 할 수 없는 문제점은 액츄에이터부를

          S字 형상으로 한 신구조 도입으로 해결

     - 압전 구동을 실현하기 위해서는 균질(均質)인 결정의 PZT막을 형성할 수 있는 프로세스가 필요하지만,
       스탠리는 이 기술을 이미 개발하였음
       ㆍ「ADRIP(arc discharged reactive ion plating)」라고 부르는 기술로,

          500℃로 그만큼 고온이 아닌 환경에서, 3μm/時 의 성막(成膜)이 가능

 

▒ 기대 효과

    - 초소형 프로젝터는 휴대 전화기 等에 탑재를 노린 기기로, 풀 컬러 레이저 광(光)을 마이크로 미러로 주사하여,
       벽 等에 화상을 투영함

 

<S字 형상으로 한 신구조 액츄에이터>




<Example of Scanning Patterns>

<출처> Nikkei Microdevices(日),                                                    Good Actual Conditio...